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科研仪器定制公司分享《真空微调阀在等离子体试验装置上的应用》

2020-05-21 15:13:22

    真空微调阀作为一种真空装置上专用的精密微调阀门,主要用于对真空腔体的很空值进行微调。但由于科研仪器定制公司其良好的进出口耐压性能,实际上可以用做充气的微调阀。常见的真空微调阀的结构外形如下图所示:

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    如图,可以通过参考旋钮刻度线的位置来确定阀门的开度,从而控制气体的通过量。这种阀门Z小可以控制到以Pa为单位的压力变化,这样就为腔体的低气压氛围的准确控制提供了可能。

    在西安小柒直播app下载2021流体科技有限公司(西安九鼎弘业仪器有限公司)设计的等离子体放电试验装置中成功应用了这种真空微调阀门。如下图所示:

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    等离子体放电试验装置在试验前需要将腔体抽真空至0.5Pa以内,然后关闭抽真空系统后,按步骤充入不同的介电气体,在50Pa~1000Pa的范围内确定试验用的低气压氛围。

    科研仪器定制公司在这个试验装置中,充气口采用三路阀门控制,均采用了微型真空微调阀作为充气量调节。通过试验,加装这种阀门后,既可以实现单一气体的控制,也可以实现不同种类气体混合分压的准确控制。考虑到温度、冲击等影响后,通过阶梯控制阀门开度,可成功将Z终的压力值准确性控制在5Pa以内。这种新的应用成功替代了用户原老式系统上的气体质量流量计,既准确实现了试验控制目标又节约了90%的流量控制仪表的成本。这种新的应用方式值得广泛推广,为更广泛的用户创造使用价值。


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